光學測量機

                      • 非接觸三次元表面粗さ?形狀測定機<br/>
 Opt-scope(オプト スコープ/白色干渉顕微鏡)
                        非接觸三圍表面粗糙度?形狀測量機
                        Opt-scope(白光干涉顯微鏡)
                        非接觸。高分辨率。范圍廣。
                        Opt-scope R:最大300mm移動范圍的自動測量臺,可進行晶片晶圓的測量。
                      • O-SELECT
                        非接觸三維表面粗糙度和形狀測量儀 Opt-scope CLW(白色干涉顯微鏡)
                        使用白色干涉原理,可以分析以往顯微鏡難以測定的深孔底和齒輪齒面、圓柱內表面粗糙度和形狀的便攜式非接觸3D表面粗糙度和形狀測量機。Z方向測量范圍、工作距離擴大40mm,對應各種測量工件。

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